产品名称：Pura Plus

新型的 Pura Plus在线微量湿度异动变送器 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus在线微量湿度异动变送器能够提供快速的响应指示，在 20 ppb 湿气级别下 1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。

Pura Plus在线微量湿度异动变送器亮点

• 对 ppb 级别湿度异动的快速响应
• 低湿 ppb 级别的灵敏度 (<1 ppb)
• 多点测量安装的全新概念
• 维护要求低
• 信号灯式的状态指示
• 可设置警告和报警点
• Modbus 网络兼容
• 远程控制界面的多通道软件
• (UHP) 超纯气体的管线检测

Pura Plus在线微量湿度异动变送器

Pura Plus在线微量湿度异动变送器技术指标

响应速度 <1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间 湿度量程 1 ppb to 20,000 ppm 压力范围 0 to 10 bar 耐压等级 300 bar 泄漏测试 0-9 mbar l/s 工作流量范围 1 ~ 10 l/min 工作温度 5 ~ 40°C 存储温度 30 ~ 70°C 电源 20 ~ 28 V DC 功耗 5 W *大 外部保险丝等级 500 mA 快熔型 数据输出 Modbus ASCII 两线 RS485 警告和报警输出 2 路 *大电压 40 V DC *大电流 100 mA 气体接触的材质 外壳材质 不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra 传感器结构 氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层 内部容积 4.4cm³ 重量 450g 气路接口 1/4" m VCR 电气接口 9 - 针 D - 型 m 接口 电磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2